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沉痛悼念陈星弼院士

摘要:中科院院士、“中国功率半导体领路人”陈星弼在成都逝世,享年89岁  陈星弼先生1931年1月28日出生于上海,祖籍浙江省金华市浦江县。1952年毕业于同济大学电机系。毕业后在厦门大学电机系、南京工学
陈星弼院士去世原因 怎么走了?

国内、国际学术界的领路人和里程碑

陈星弼院士是国际半导体界著名的超结结构(Super Junction)的发明人,也是国际上功率器件的结终端理论的集大成者。他从1981年就开始研究半导体功率器件,在中国首次研制了VDMOST、IGBT、LDMOST、MCT、EST等器件,并在国际上第一个提出了各种终端技术的物理解释及解析理论。80年代末他提出了两种新的耐压层结构,并作了唯一的三维电场分析。其中超结结构大大突破了功率器件的硅极限,被称为“功率器件的新里程碑”。其美国发明专利US 5216275已被超过400个美国发明专利引用,中国因此获得78万美元的专利转让费。超结MOS器件已达到约10亿美元的年销售额。他还提出了最佳表面横向变掺杂的理论及横向新结构,在无需BCD技术而只用常规IC工艺的情况下,以最小面积研制出电学性能更好的高低侧功率器件。

陈院士近期的其它重要发明还包括高K电介质耐压结构、高速IGBT、两种多数载流子导电的器件等。